技術(shù)編號：6022344
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體材料測試領(lǐng)域，尤其涉及一種采用掃描電子顯微鏡-陰極熒光測試裝置和透射電子顯微鏡原位表征納米線的方法。背景技術(shù)隨著納米光電子器件的發(fā)展和光子集成原型器件的制作，對于單根納米線的發(fā)光性質(zhì)以及對應(yīng)結(jié)構(gòu)信息的研究顯的尤其重要。微柵(lacey support films)是電子顯微鏡用來檢測樣品的專用支持膜，特別是納米材料檢測的必備用品。研究者通常把試樣直接放在微柵上進行透射電鏡觀察。透射電子顯微鏡或透射電鏡(Transmission electr...
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