技術(shù)編號：6023105
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及透鏡陣列焦距測量的，特別涉及，可用于焦距較短、單元數(shù)較多的微透鏡陣列測量。背景技術(shù)微透鏡陣列因為自身的高衍射效率、寬工作波長等優(yōu)點，廣泛應(yīng)用于光存儲、光耦合和波前檢測等領(lǐng)域。隨著微透鏡陣列加工工藝的提高，微透鏡陣列向著多單元數(shù)、微型化的方向發(fā)展，對微透鏡陣列的檢測提出新的要求，不僅需要較高的測量精度，而且需要較高的測量效率。目前，對微透鏡陣列的焦距測量主要有口徑和矢高測量計算法、浮雕深度法、 轉(zhuǎn)角法、放大率法和干涉儀測量法等。對于口徑和矢高測量計...
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