技術編號：6023968
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明一般是關于一種高處理量檢測一物體的系統(tǒng)及方法，其是使用短周期反射及穿透發(fā)光光束(例如但不限于發(fā)光光束)。背景技術 檢測一物品以決定此物品狀態(tài)的系統(tǒng)與方法，例如屏蔽(亦稱為標線板或光罩)，在此項技術中已為業(yè)界所熟知。光學檢測系統(tǒng)與方法，通常包含導引一發(fā)光光束至一檢測物體，并檢測由系統(tǒng)反射的發(fā)光，或穿透物體的發(fā)光。晶體管的大小持續(xù)縮小，且需以較高分辨率檢測屏蔽(亦稱為標線板)。除需較高分辨率外，需以一可節(jié)省時間的方式執(zhí)行光學檢測。因此需提供一種具有高處理...
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