技術(shù)編號(hào)：6025977
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明為一種彩色共焦顯微技術(shù)，由其是指一種。背景技術(shù)傳統(tǒng)的彩色共焦顯微系統(tǒng)，一般是架設(shè)于桌面上以進(jìn)行垂直或橫向掃描來檢測(cè)待測(cè)物的表面形貌。由于系統(tǒng)體積大與占用空間的問題容易造成不便，對(duì)于待測(cè)物若是角度過大或是體積龐大的話，以桌上型的結(jié)構(gòu)要進(jìn)行量測(cè)將有其限制性。例如欲量測(cè)大型8英寸晶片上所形成的大型集成電路(large scale integration, LSI)晶片的凸塊高度,礙于機(jī)型結(jié)構(gòu)無法即時(shí)變更，因而大幅地減少其實(shí)用性?，F(xiàn)有技術(shù)中，如美國(guó)公開US....
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。