技術(shù)編號(hào):6026672
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明大體上涉及一種在信息記錄介質(zhì)的原版上進(jìn)行記錄的記錄設(shè)備,更具體地,涉及應(yīng)用在電子束記錄設(shè)備中的原版的表面位移檢測(cè),以及一種通過(guò)位移檢測(cè)在信息記錄介質(zhì)的原版上進(jìn)行記錄的記錄設(shè)備。背景技術(shù) 傳統(tǒng)上,為了在如光盤(pán)等信息記錄介質(zhì)上進(jìn)行記錄,采用在信息記錄介質(zhì)的原版上進(jìn)行記錄的記錄設(shè)備,在該記錄設(shè)備中將藍(lán)色或紫外激光束用作光源。在激光記錄設(shè)備中,例如,使用具有0.9的數(shù)值孔徑(NA)的物鏡,對(duì)記錄光束進(jìn)行會(huì)聚,并照射在其上具有光敏材料的原版上,從而進(jìn)行在原版上...
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