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一種基于光纖復(fù)合干涉的高精度絕對(duì)位移測(cè)量系統(tǒng)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6027069

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本發(fā)明涉及光學(xué)測(cè)量,特別是涉及一種基于光纖復(fù)合干涉的高精度絕對(duì)位移測(cè)量系統(tǒng)。背景技術(shù)現(xiàn)有的與此技術(shù)相接近的文獻(xiàn)有以下兩個(gè)[1]D. P. Hand, Τ. A. Carolan, J. S. Barton, and J. D. C. Jones. "Profile measurement of optically rough surfaces by fiber-optic interferometry", Opt. Lett.,Vol. 18,No. 16...
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