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技術(shù)編號：6027600

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本發(fā)明涉及一種基于顯微干涉技術(shù)測試微機電系統(tǒng)(MEMS)中結(jié)構(gòu)的三維幾何參數(shù)和運動特性的裝置與方法。屬于面向微機電系統(tǒng)的光電非接觸法的幾何量和機械量測試技術(shù)。背景技術(shù) 測試技術(shù)在微機電系統(tǒng)(MEMS)研發(fā)過程與產(chǎn)業(yè)化過程中具有重要的現(xiàn)實意義。目前MEMS的測試手段主要是借助于傳統(tǒng)的IC測試工具和掃描電子顯微鏡、原子力顯微鏡等昂貴的微觀測試設(shè)備，但以上設(shè)備并不是針對MEMS測試的專用設(shè)備，無法實現(xiàn)MEMS結(jié)構(gòu)動態(tài)特性的測試，同時這些設(shè)備價格昂貴，測試速度慢，...
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