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一種用于低溫探針臺(tái)中的磁場產(chǎn)生裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6030518

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本發(fā)明涉及一種產(chǎn)生平行磁場的設(shè)備,具體涉及一種用于低溫探針臺(tái)中的 磁場產(chǎn)生裝置。 背景4支術(shù)半個(gè)多世紀(jì)以來,以CMOS為主流技術(shù)的半導(dǎo)體集成電路一直在遵循"摩 爾定律,,迅速發(fā)展,其特征尺寸已進(jìn)入到納米級(jí),因此基于新材料、新原理的 納米電子器件如各種量子點(diǎn)器件、納米線、納米管器件、單電子器件等成為研 究的熱點(diǎn)。而對(duì)這些量子器件的表征中,其低溫特性和在^f茲場中的特性成為一 種常用的表征手段。但是在傳統(tǒng)的測試設(shè)備中,低溫特性和磁場特性很少能夠同時(shí)完成。有些 ...
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