技術(shù)編號(hào)：6030554
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及，屬于工程材料、結(jié)構(gòu)形變及 力學(xué)實(shí)驗(yàn)。 背景技術(shù)鐵磁薄膜材料是微電子與信息技術(shù)中重要的一類功能材料，具有多種獨(dú)特的物理特性， 如磁各向異性、磁致伸縮效應(yīng)、磁光效應(yīng)、磁致電阻效應(yīng)等，在很多方面得到了廣泛的應(yīng)用， 隨著人類社會(huì)高技術(shù)的發(fā)展，要求研制越來越多的新型磁性薄膜材料和器件。鐵磁薄膜也由 于其優(yōu)異的力磁耦合特性，在微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)得到廣泛的應(yīng)用，例如，磁性微驅(qū)動(dòng)器、各種微傳感器、基于磁電阻效應(yīng)的微型磁閥門傳感器等。近年來，已有許多國內(nèi)外學(xué)...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。