技術(shù)編號：6038533
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型涉及一種半導體測試儀器，具體說是一種用于測量薄膜樣品介電性能的測試臺o背景技術(shù)鐵電薄膜的C-f頻譜、C-V偏壓、C-T溫譜等介電性能的表征已經(jīng)成為相關(guān)科研單位的普遍性的難題。國內(nèi)目前廣泛采用HP (Agilent)公司的4284A、 4286、 4294系列阻抗分析儀作為鐵電薄膜電性能的測試分析儀器。遺憾的是，該系列儀器沒有為薄膜樣品配置相應的夾具。經(jīng)過調(diào)研，國內(nèi)外廠商都有可以與HP (Agilent)系列儀器相配套的自動探針設(shè)備，這些夾具與相應...
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