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氣體流量計(jì)及其制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6040327

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背景技術(shù)本發(fā)明涉及和,更特別地,它涉及熱氣體流量計(jì)以及它的制造方法,其中生熱電阻器或熱元件由硅(Si)半導(dǎo)體薄膜組成。迄今為止,由于熱氣體流量計(jì)可直接檢測(cè)氣體質(zhì)量,熱氣體流量計(jì)已主要用于如下用途作為在如用于汽車的內(nèi)燃機(jī)的電子控制燃料注射系統(tǒng)中提供的吸入空氣數(shù)量的流量計(jì),或用于半導(dǎo)體生產(chǎn)的各種氣體的流量計(jì)或在燃料電池中使用的氫氣/氧氣的流量計(jì)。其中,由于它可降低成本和可以在低能量下驅(qū)動(dòng),由半導(dǎo)體微加工技術(shù)制造的氣體流量計(jì)已經(jīng)被注意到。作為使用現(xiàn)有半導(dǎo)體基材的...
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