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加速度傳感器及其制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6042321

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本發(fā)明涉及,具體地涉及電容型加速度 傳感器及其制造方法。背景技術(shù)使用MEMS (微機(jī)電系統(tǒng))技術(shù)形成的電容型加速度傳感器是已知 的。這種電容型加速度傳感器通常具有這樣的結(jié)構(gòu),其中,提供在傳感器中并具有預(yù)定質(zhì)量的檢測(cè)質(zhì)量(重塊可移動(dòng)部分)被橫梁或類(lèi)似物 支承。因此,當(dāng)加速度傳感器經(jīng)受加速度時(shí),提供在傳感器中的檢測(cè)質(zhì) 量因慣性力而移動(dòng)。為此,通過(guò)將移動(dòng)量與電容值的變化視為等同,便 能檢測(cè)加速度。順便說(shuō)一句,關(guān)于上述電容型加速度傳感器, 一般都知道加速度傳 感器...
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