技術(shù)編號(hào):6054801
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型屬于光學(xué)記錄,具體涉及一種光刻機(jī)投影物鏡波像差的在線測(cè)量裝置,特別是采用空間像傳感器在線測(cè)量波像差的裝置。背景技術(shù)隨著光刻機(jī)關(guān)鍵尺寸不斷減小,對(duì)投影物鏡波像差的要求也越來(lái)越小,對(duì)于先進(jìn)光刻機(jī),一般要求投影物鏡的波像差不大于幾納米。在投影物鏡的實(shí)際使用中,由于激光照射所引起的投影物鏡熱效應(yīng)以及周?chē)h(huán)境的影響,投影物鏡的波像差會(huì)逐漸變大,因此在光刻機(jī)內(nèi)部需要安裝一種投影物鏡波像差在線測(cè)量裝置,以便實(shí)時(shí)測(cè)量投影物鏡波像差,必要時(shí)通過(guò)調(diào)節(jié)投影物鏡可動(dòng)鏡片...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專(zhuān)利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專(zhuān)利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專(zhuān)利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。