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一種光刻機(jī)投影物鏡波像差在線測(cè)量裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6054801

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本實(shí)用新型屬于光學(xué)記錄,具體涉及一種光刻機(jī)投影物鏡波像差的在線測(cè)量裝置,特別是采用空間像傳感器在線測(cè)量波像差的裝置。背景技術(shù)隨著光刻機(jī)關(guān)鍵尺寸不斷減小,對(duì)投影物鏡波像差的要求也越來(lái)越小,對(duì)于先進(jìn)光刻機(jī),一般要求投影物鏡的波像差不大于幾納米。在投影物鏡的實(shí)際使用中,由于激光照射所引起的投影物鏡熱效應(yīng)以及周?chē)h(huán)境的影響,投影物鏡的波像差會(huì)逐漸變大,因此在光刻機(jī)內(nèi)部需要安裝一種投影物鏡波像差在線測(cè)量裝置,以便實(shí)時(shí)測(cè)量投影物鏡波像差,必要時(shí)通過(guò)調(diào)節(jié)投影物鏡可動(dòng)鏡片...
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