技術(shù)編號：6062958
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型公開了一種雙軸石英角速度傳感器芯片，包括均沿Y向設(shè)置的兩平行的驅(qū)動(dòng)梁、兩平行的Y軸檢測梁、Z軸檢測梁和連接梁，連接梁兩端與兩驅(qū)動(dòng)梁和兩Y軸檢測梁連接形成H形結(jié)構(gòu)，Z軸檢測梁一端與連接梁中部固接并與Y軸檢測梁位于同一側(cè)，Z軸檢測梁另一端與固定塊固接；兩驅(qū)動(dòng)梁的上下表面和左右側(cè)壁均覆蓋有激勵(lì)電極；兩Y軸檢測梁的左右側(cè)壁均覆蓋有敏感電極，左右側(cè)壁的敏感電極均由上下平行分開的兩部分構(gòu)成；Z軸檢測梁的上下表面和左右側(cè)壁均覆蓋有敏感電極。本實(shí)用新型為單片一體...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲(chǔ)備，不適合論文引用。