技術(shù)編號(hào):6080473
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及精密振動(dòng)位移測(cè)量裝置,尤其涉及一種絕對(duì)式位移測(cè)量裝置。 背景技術(shù)隨著超微細(xì)加工與裝配技術(shù)、超精密測(cè)量技術(shù)的發(fā)展,微振動(dòng)的影響變得更加突 出。精密振動(dòng)測(cè)試是許多高科技產(chǎn)品研發(fā)的必備手段。振動(dòng)位移測(cè)量一般采用如下手段進(jìn) 行測(cè)試電蝸流位移計(jì)、電容式位移測(cè)量?jī)x、激光多普勒測(cè)振儀等。但上述測(cè)量手段屬于相 對(duì)式測(cè)量,難以得到被測(cè)物體的絕對(duì)位移。1996年2月7日公開(kāi)的“絕對(duì)式振幅傳感器裝置”(公開(kāi)號(hào)為CN1116^8A的中國(guó) 專利)采用相對(duì)式位移傳感器(電渦...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。