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電容式加速度傳感器的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6081474

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本實(shí)用新型涉及一種加速度傳感器,尤其是指一種電容式加速度傳感器。背景技術(shù)加速度傳感器是將加速度、震動(dòng)、沖擊等物理現(xiàn)象所產(chǎn)生的壓力轉(zhuǎn)變成便于測(cè)量的電信號(hào)的測(cè)試儀器。電容式加速度傳感器是將被測(cè)量的加速度變化轉(zhuǎn)換為電容變化量的一類傳感器,因?yàn)榫哂袦y(cè)量精度高,輸出穩(wěn)定,溫度漂移小等優(yōu)點(diǎn)而得到廣泛應(yīng)用。傳統(tǒng)加工方法制造的電容式傳感器,通常由質(zhì)量塊、彈簧片、上下固定極板等分立元件構(gòu)成,一起置于外殼內(nèi),封裝起來(lái),形成產(chǎn)品。產(chǎn)品體積大,不易于集成,穩(wěn)定性和可靠性差。由于結(jié)...
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