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樣品表面分析中校正本底的方法和裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6086584

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本發(fā)明涉及用來(lái)分析樣品表面的方法和裝置,例如電子探測(cè)微量分析儀(EPMA)、掃描電子顯微鏡(SEM)等,特別涉及這些表面微量分析儀的測(cè)得數(shù)據(jù)的本底較正。在電子微量分析儀或掃描電子顯微鏡中,一直徑為幾十埃(A)的電子束來(lái)掃描待分析的樣品的表面,以便將從電子束掃描過(guò)的樣品表面上的每一微小點(diǎn)和所有微小點(diǎn)發(fā)出的種種信息用電的方法加以檢測(cè),并用樣品的成份和/或各成份的濃度與樣品表面的掃描同步地顯示在一陰極射線管上,由此顯示樣品中所含的元素的分布。被電子束照射的樣品表...
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