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本發(fā)明涉及使用干涉儀測量表面和外形的裝置。本發(fā)明還涉及由于涉儀的輸出確定位移的方法和裝置，例如，在被測的表面和外形上方使用探頭。已知的裝置是通過測量一個(gè)物體的表面和外形，來推知該物體的紋理、粗糙度或形狀。這種裝置的一個(gè)例子是由RankTaylorHobson有限公司(P.O.Box36，2NewStarRoad，LeicesterLE47JQ，UK)生產(chǎn)的FORMTALYSURF(TM)測量系統(tǒng)。該裝置包括一個(gè)探頭部件，或探針，它們向下伸向被測的表面并與其...
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