技術(shù)編號：6089383
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種微型玻璃V形槽基板的高精度快速檢測方法。 背景技術(shù)在生產(chǎn)微型高精度玻璃V形槽的過程中，及時獲知V形槽的精確尺寸是實現(xiàn)精 確控制的關(guān)鍵。然而由于槽寬只有0. 127mm，并且是多條并列，如16根槽的總寬度就達到 2. 032mm，要求槽與槽之間的距離誤差控制在0. 5微米之內(nèi)，通過顯微鏡進行檢測固然可以 測出結(jié)果，但是很耗時，加上大比例的顯微鏡視窗很小，一次只能看到5至6條槽，不能給生 產(chǎn)控制快速提供反饋，影響到質(zhì)量控制。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的在...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。