技術(shù)編號(hào)：6090255
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體處理裝置領(lǐng)域，更具體來說涉及一種在Z軸、翻轉(zhuǎn)軸、傾斜軸和偏轉(zhuǎn)(θ)軸上相對(duì)于一晶片處理裝置將一晶片動(dòng)態(tài)對(duì)準(zhǔn)的系統(tǒng)。背景技術(shù) 有多種已有的在一半導(dǎo)體處理機(jī)器中調(diào)整一半導(dǎo)體晶片的高度和平行度的Z向—翻轉(zhuǎn)—傾斜(“ZTT”)裝置。ZTT裝置通常在半導(dǎo)體晶片在一諸如光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)之類的半導(dǎo)體處理機(jī)器下沿X-Y方向運(yùn)動(dòng)時(shí)控制對(duì)Z軸位移的定位、繞X軸的旋轉(zhuǎn)以及繞Y軸的旋轉(zhuǎn)。ZTT裝置動(dòng)態(tài)補(bǔ)償晶片的不平整并可有力地提供高帶寬的定位。典型的ZTT裝置安裝在一...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。