技術編號：6095365
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及使用干涉儀測量表面和外形的裝置。本發(fā)明還涉及由干涉儀的輸出確定位移的方法和裝置，例如，在被測的表面和外形上方使用探頭。已知的裝置是通過測量一個物體的表面和外形，來推知該物體的紋理、粗糙度或形狀。這種裝置的一個例子是由RankTaylor Hobson有限公司(P.O.Box36，2New Star Road，LeicesterLE47JQ，UK)生產(chǎn)的FORM TAL YSURF(TM)測量系統(tǒng)。該裝置包括一個探頭部件，或探針，它們向下伸向被測的...
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