技術(shù)編號：6095366
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及多件物體是否已妥善安置在夾持裝置中的鑒定，特別涉及一種用光檢驗(yàn)物品安置情況的設(shè)備。在半導(dǎo)體的制造過程中，硅圓片在各處理工序之間都固定夾持在一個(gè)盒子里。該盒子通常是具有許多水平溝槽的一個(gè)框架，各溝槽中放著一個(gè)硅圓片。制造系統(tǒng)中的搬運(yùn)機(jī)構(gòu)逐一地將各圓片從盒子上卸下來處理，處理過后再將其放回盒中。由于圓片的搬運(yùn)是自動化進(jìn)行的，因此需要檢查盒子，以確保所有的圓片妥善安置在盒子的各溝槽中。圓片往往會由于各圓片之間沒有精確放好或各圓片之間參差不齊(例如邊緣呈...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。