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壓電諧振式力傳感器的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6095397

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本發(fā)明涉及一種力測(cè)量裝置,特別是一種壓電諧振式力傳感器。壓電諧振式力傳感器是利用壓電石英諧振器作為敏感元件的數(shù)字式傳感器。當(dāng)外力作用于諧振器,導(dǎo)致諧振器基片內(nèi)應(yīng)變狀態(tài)改變時(shí),將引起諧振器的諧振頻率的改變,頻率的改變量反映外力的大小。U.S.Pat,NO.3,891,870公開了一種該形式的傳感器,其結(jié)構(gòu)如附圖說明圖1所示。其工作原理是外力F通過壓塊16作用于敏感諧振器11,導(dǎo)致諧振器11的頻率改變,借此實(shí)施測(cè)量。該傳感器采用較多的分離部件,用螺釘連接和定位...
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