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薄膜厚度和折射率的成像檢測(cè)法及其設(shè)備的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6095576

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本發(fā)明是一種用于快速檢測(cè)薄膜厚度和折射率顯微圖像的方法及其設(shè)備,屬于橢偏測(cè)量。橢圓偏振測(cè)量技術(shù)是利用偏振光束在界面或薄膜上反射或透射時(shí)出現(xiàn)的偏振態(tài)的變化,從而得知有關(guān)的物理化學(xué)性質(zhì)。橢偏儀具有測(cè)量精度高的顯著優(yōu)點(diǎn),它能同時(shí)分別測(cè)量多個(gè)物理量,并能區(qū)分不同的物理效應(yīng),是一種非破壞性測(cè)量。因而它在物理學(xué)、化學(xué)、材料學(xué)、生物學(xué)、光學(xué)、電子學(xué)、冶金學(xué)和生物醫(yī)學(xué)等方面具有廣泛的應(yīng)用。普通的橢偏儀一般采用手動(dòng)消光法進(jìn)行測(cè)量,這種橢偏儀在實(shí)際測(cè)量過(guò)程中調(diào)整復(fù)雜和困難,測(cè)...
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