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感離子場效應(yīng)管傳感器的靜電放電保護的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:6095837

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一、發(fā)明領(lǐng)域概括地說,本發(fā)明涉及用于(a)測量液體中的離子;(b)保護該設(shè)備使不受靜電放電效應(yīng)作用;及(c)制造該設(shè)備,包括在硅片上的靜電放電保護電路的方法和設(shè)備。更具體地說,本發(fā)明涉及給基于感離子場效應(yīng)管(ISFET)的用于選擇性地測量液體中離子的裝置提供靜電放電(ESD)保護的方法、設(shè)備和芯片制造技術(shù)。根據(jù)本發(fā)明的一個方向,由傳統(tǒng)保護元件制作的ESD保持電路被集成在其上形成有ISFET的同一硅片上,并且有一個新的接口。根據(jù)本發(fā)明,該新的接口與被測液體接...
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