技術(shù)編號(hào)：6097734
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及用于檢測存在于檢查對象表面的異物的異物檢查方法及裝置，主要是涉及液晶制造工藝和半導(dǎo)體制造工藝中帶有線條的基片的外觀檢查用的方法和裝置。已有的異物檢查方法在例如“計(jì)測自動(dòng)制御學(xué)會(huì)論文集”(Vol.17，No2237/242，1981)有發(fā)表。圖24是已有的異物檢查方法的基本結(jié)構(gòu)圖。201是被檢查的基片。這里，將包含被檢查基片201且垂直于的紙面的面定義為被檢查基片201的主面。202是被檢查基片201上的線條，203是被檢查基片201上的異物，20...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。