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薄膜晶體管生物化學(xué)傳感器的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6097775

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本發(fā)明涉及傳感器,確切涉及生物化學(xué)傳感器。當(dāng)前,對(duì)傳感器特別是能檢測(cè)生物和/或化學(xué)物質(zhì)的傳感器的需求正與日俱增。目前能執(zhí)行這類功能的傳感器都比較難以制造,因而也比較昂貴。大多數(shù)已知的傳感器都采用具有電阻之類的變化特性的材料。傳感器則須組合到可利用(讀出)這種改變特性的電路中。例如,可將材料薄膜組合到惠斯登電橋式的設(shè)備中以讀出液態(tài)或氣態(tài)化學(xué)物引起的電阻改變。問(wèn)題是為了使傳感器的靈敏度達(dá)到實(shí)用的范圍,一般都要求某種形式的放大。鑒此,提供一種制造成本較低的極靈敏...
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