技術(shù)編號(hào)：6102824
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種，特別涉及一種流量測(cè)量裝置的結(jié)構(gòu)及其制造方法。背景技術(shù) 隨著微機(jī)電技術(shù)的進(jìn)步，市場(chǎng)上對(duì)微流量計(jì)(miniature flow meter)的需求也日益增加，如在生技醫(yī)學(xué)上控制試劑或血液的注射泵等。然而就目前的技術(shù)而言，商用型的微流量測(cè)量?jī)x器卻很少能對(duì)其宣稱的微流量測(cè)量范圍提出一套有效、或符合國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)的校正方法，因而使用者無(wú)法確認(rèn)該微流量計(jì)測(cè)量數(shù)據(jù)的可靠性。目前在市場(chǎng)上實(shí)用的微流量計(jì)產(chǎn)品仍極為有限，其測(cè)量原理大致區(qū)分為兩類熱感式(thermal...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。