技術(shù)編號(hào)：6105695
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及一種微三維形貌測(cè)量儀器，具體的說是一種基于光纖傳像束的新型微三維形貌測(cè)量裝置。技術(shù)背景隨著微電子工業(yè)的迅猛發(fā)展以及MEMS、MOEMS和光通信等技術(shù)的不斷興起，出現(xiàn)了大量的微米、毫米級(jí)器件。因此，微三維測(cè)量的市場(chǎng)需求越來越旺盛。但是，目前已有的微三維測(cè)量儀器要么是針對(duì)厘米以上器件的，如臺(tái)灣智泰公司、西安交大及清華大學(xué)推出的微三維測(cè)量儀，其測(cè)量精度一般都在幾十微米左右；要么是針對(duì)微納米級(jí)器件的，其測(cè)量精度一般能達(dá)到幾個(gè)或幾十納米。所以開發(fā)適合測(cè)...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。