技術(shù)編號(hào)：6109039
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。相關(guān)申請(qǐng)的交叉參考不適用美國聯(lián)邦政府資助的研究或發(fā)展下的發(fā)明的權(quán)利聲明不適用發(fā)明背景本發(fā)明涉及一種在不同制造階段使用電子、電光和光學(xué)技術(shù)的對(duì)平面電子線路構(gòu)圖型介質(zhì)的檢查方法。更具體地，本發(fā)明涉及使用自動(dòng)電子、電光、光學(xué)方法對(duì)平面電子基片，諸如薄膜晶體管(TFT)陣列(液晶平板顯示器(LCD)的主要成分)的檢查。尤其是對(duì)沉積在大幅玻璃板上的高密度薄膜晶體管(TFT)液晶顯示器(LCD)面板的檢查。在TFT LCD面板的制造過程中，使用大幅透明的薄玻璃板作為各...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。