技術(shù)編號：6109878
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。 本發(fā)明一般涉及測量頭，更具體說，是涉及設(shè)有光波導(dǎo)的測量頭，用于樣品的平面測量。背景技術(shù) 常規(guī)的測量頭，通常包括照射測量表面的光學(xué)投射裝置，和用于測量光反射的光學(xué)裝置。這種測量頭的一個例子，在美國專利U.S.Pat.No.4,078,858中說明，該測量頭包括白熾燈，為了產(chǎn)生測量光斑，該白熾燈與準(zhǔn)直器透鏡和偏折反射鏡，還與收集透鏡結(jié)合在一起。以45度角反射的測量光斑的光，到達(dá)光學(xué)測量裝置內(nèi)，該測量裝置包括球形環(huán)狀反射鏡及平的球形反射鏡。這種常規(guī)測量頭的一種...
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