技術編號:6110415
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及在測量角速度中使用的測量裝置,并且更具體地, 涉及振蕩微機械角速度傳感器。本發(fā)明目的在于提供一種特別在緊 湊型振蕩微機械角速度傳感器解決方案中能夠進行可靠和有效測量 的改進的傳感器結構。背景技術基于振蕩角速度傳感器的測量已經(jīng)證明有簡單的原理,并且可 提供測量角速度的可靠方法。最一般地應用在振蕩角速度傳感器的操作原理是所謂的音叉(tuning fork)原理。在振蕩角速度傳感器中,某些已知的主運動產(chǎn)生并保持在傳感 器中。另一方面,通過傳感器測量的所...
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