技術(shù)編號：6110763
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及檢測加速度的加速度傳感器裝置及具有多個傳感器的 傳感器裝置。背景技術(shù)目前，在汽車上裝載的安全氣嚢系統(tǒng)等中使用了加速度傳感器。 此外，隨著近年來加速度傳感器的小型化和省電化，在移動電話等小 型信息終端上也裝栽了加速度傳感器。作為加速度傳感器的工作原理提出了各種各樣的方法，其中一種 為人們所知的是利用了壓電電阻效應(yīng)的壓電電阻型加速度傳感器。在 壓電電阻型加速度傳感器中，通過對硅基板進行蝕刻加工，形成由錘 部、支撐該錘部的梁部、和支撐梁部的框架構(gòu)成的結(jié)...
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