技術(shù)編號(hào)：6112281
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種基于(111)硅的微機(jī)械加速度傳感器及其制作方法，采用微電子機(jī)械加工技術(shù)制作，屬于微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)領(lǐng)域。背景技術(shù) 加速度傳感器，在慣性導(dǎo)航、姿態(tài)控制、振動(dòng)測(cè)量、石油勘探等領(lǐng)域有廣泛而重要的應(yīng)用。利用微電子機(jī)械加工技術(shù)(Micro-machining Technology)制作的微機(jī)械加速度傳感器，具有體積小、成本低、可批量生產(chǎn)、環(huán)境適應(yīng)性好等特點(diǎn)。目前的微機(jī)械加速度傳感器在檢測(cè)方面主要采用開環(huán)和閉環(huán)方式，閉環(huán)工作的傳感器具有更高的動(dòng)...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。