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一種絕對式角位移傳感器的制作方法技術資料下載

技術編號:6113351

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本發(fā)明涉及一種角位移傳感器背景技術目前的角位移傳感器有多種形式,各自有優(yōu)缺點增量式位移傳感器以增量式光柵為典型代表,采用非調(diào)制式工作原理,柵線數(shù)從每周一百線到十萬線不等。一般線數(shù)較少的(一萬線以下),分度精度不高、分辨率不高,多用作測速或其它幾何精度要求不高的場合,價格在幾百元到幾千元。而用于精密分度和角位移測量的高精度計量光柵,多數(shù)為1~3萬線/周,精度可到±1″~±5″,價格為數(shù)萬元。絕對式位移傳感器,以感應同步器為典型代表,采用調(diào)制式工作原理,極對數(shù)...
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