技術(shù)編號：6114425
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明是利用終端電阻吸收微波功率發(fā)熱產(chǎn)生薄膜應(yīng)力，以壓敏電阻的方式測得輸入微波功率的結(jié)構(gòu)，屬于微電子器件。背景技術(shù) 在微波技術(shù)研究中，微波功率是表征微波信號特征的一個重要參數(shù)。在微波無線應(yīng)用和測量技術(shù)中，微波功率的探測是一個非常重要的部分。傳統(tǒng)的功率計采用波導(dǎo)形式的熱點功率傳感器，常用鉍-銻作熱偶，采用同軸電纜作為傳輸線，它的主要缺點是響應(yīng)慢、燒毀水平低、測量高功率時要用到衰減器，并且不能集成到電路中。近年來，國外提出了基于MEMS技術(shù)的終端式微波功率傳感...
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