技術編號：6116264
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及電子衍射技術，具體的說是一種反射式高能電子衍射儀用-25KV電子槍電源。 背景技術-25KV電子槍電源是與長焦距電子槍配套使用，合稱為反射式高能電 子衍射儀(RHEED )。該衍射儀是分子束外延生長設備不可缺少的監(jiān)控儀器。 主要用來研究MBE生長過程中樣品表面再構、粗糙度、臺階和小面等無序 情況。同時配合RHEED強度振蕩檢測系統(tǒng)，還可作日常生長中的束流標準、 合金組成的控制，量子阱和超晶格厚度的測量，生長溫度的控制等。以前生產的電源，存在燈絲電...
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