技術(shù)編號(hào)：6121327
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種光源裝置，其具備出射規(guī)定波長(zhǎng)的光的氣體放電 管，可用作分析裝置或半導(dǎo)體檢査裝置等的光源。背景技術(shù)目前，在分析裝置和半導(dǎo)體檢査裝置等的中，已知有如例如專利文獻(xiàn)I和2記載的光源裝置。這些專利文獻(xiàn)1和2中記載的 光源裝置，具備容納出射紫外光的重氫燈(氣體放電管)的燈容器， 該燈容器被容納在光源裝置的殼體中。例如在專利文獻(xiàn)1記載的光源 裝置中，燈箱(燈容器)經(jīng)由絕熱部件而固定在殼體中。由此，防止 從殼體向燈箱的傳熱，實(shí)現(xiàn)出射亮度的穩(wěn)定化。此外，在專利...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。