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超聲波換能器、超聲波探頭以及超聲波攝像裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6122492

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本發(fā)明涉及隔膜型的超聲波換能器、超聲波探頭以及超聲波攝像裝置。技術(shù)背景發(fā)送接收超聲波的超聲波換能器的主流是利用以PZT (lead zirconate titanate;鋯鈦酸鉛)為代表的陶瓷系的壓電元件的壓電效果以及逆壓電效果 進(jìn)行超聲波的發(fā)送以及接收型的超聲波換能器。該壓電陶瓷系超聲波換能器 現(xiàn)在也占實(shí)際使用的超聲波換能器的一大半,但為了置換之,1990年開始進(jìn) 行具有利用半導(dǎo)體微型加工技術(shù)的微米等級(jí)的構(gòu)造的微細(xì)的隔膜型的超聲波 換能器的研究(參照非專...
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