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高頻懸臂式探針的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6124149

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本發(fā)明與懸臂式探針有關(guān),特別是指一種用于探針卡上以傳遞高頻訊 號(hào)的懸臂式探針。背景技術(shù)請(qǐng)參閱圖1所示公知的懸臂式探針卡1,包括有一電路板10、復(fù)數(shù)個(gè) 同軸傳輸線11、 一探針座12及復(fù)數(shù)個(gè)懸臂式探針13,電路板10上靠近 外圍處設(shè)有多個(gè)機(jī)臺(tái)焊點(diǎn)101用以接收電測機(jī)臺(tái)所送出的測試訊號(hào),由各 同軸傳輸線11傳遞測試訊號(hào)至所對(duì)應(yīng)電性連接的探針13上以對(duì)集成電路 晶圓執(zhí)行晶圓級(jí)測試工程;其中探針座12具有一接地面121、 一座體122 及多數(shù)個(gè)固定件123,接地面...
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