技術(shù)編號：6125149
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及的是一種氫氣傳感器及其制備工藝，更具體地是涉及一種聲表面波微氫氣傳 感器及其制備工藝，主要用于生產(chǎn)、儲備、運輸和分銷氫的過程中氫的安全檢測。背景技術(shù)現(xiàn)存的微氫氣傳感器主要是電化學(xué)式，相對于電化學(xué)式氫氣傳感器，采用SAW技術(shù)制 作的傳感器可以在常溫下工作，結(jié)構(gòu)簡單，功耗低，不需要加熱即可獲得較高的靈敏度和很 快的響應(yīng)時間；工作時以頻率信號輸出，不需要經(jīng)過A/D轉(zhuǎn)換器即可與計算機相聯(lián)，具有得 天獨厚的優(yōu)越性。它將氫敏薄膜沉積在SAW的傳播路徑上，吸收...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。