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撓性靜電補(bǔ)償式線圈加矩流體微陀螺儀的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6125771

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本發(fā)明涉及的是一種微機(jī)電的微陀螺,具體是一種撓性靜電補(bǔ)償式線圈加矩流體微陀螺儀。背景技術(shù) 當(dāng)前被廣泛研究的微陀螺儀可分為兩種,一種是懸浮轉(zhuǎn)子式微陀螺,另一種是撓性陀螺儀,它們各有其特點(diǎn)。懸浮轉(zhuǎn)子式微陀螺,轉(zhuǎn)子在懸浮狀態(tài)下高速旋轉(zhuǎn),轉(zhuǎn)速獲得的較大的提高,有助于實(shí)現(xiàn)高精度,,但是懸浮轉(zhuǎn)子式微陀螺普遍采用雙定子結(jié)構(gòu),并且為了提高轉(zhuǎn)子的側(cè)向剛度而需要加工側(cè)向控制電極,使得懸浮轉(zhuǎn)子式微陀螺的加工工藝復(fù)雜。而為了除去轉(zhuǎn)子受到空氣阻力的影響,常見(jiàn)的懸浮轉(zhuǎn)子式微陀螺要使用...
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