技術編號：6126461
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明屬于半導體測試裝置，具體涉及一種測量半導體薄膜材料塞貝克系數和電阻率的裝置。背景技術 塞貝克(Seebeck)系數和電阻率是材料重要的熱電輸運性能參數。精確測定它們對深入研究半導體材料的熱電輸運機理，特別是對深入研究和開發(fā)新型半導體熱電材料和器件具有非常重要的應用價值和理論意義。目前已開發(fā)出很多測試薄膜電阻率的裝置，但對于薄膜塞貝克系數的測試裝置卻很少，已有的涉及薄膜塞貝克系數和電阻率的測試裝置，主要存在以下幾方面的問題1)塞貝克系數的測定通常采用兩...
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