技術(shù)編號：6134486
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種在硅器件中作為微機械構(gòu)件用的轉(zhuǎn)速傳感器。轉(zhuǎn)速傳感器(陀螺儀)用來測量角速度。機械陀螺儀從功能上講相當于一個羅盤，通過一個旋轉(zhuǎn)體的精密運動，測量所產(chǎn)生的旋轉(zhuǎn)運動。當這樣的一種結(jié)構(gòu)沿著一個位于和旋轉(zhuǎn)體的轉(zhuǎn)軸垂直的軸旋轉(zhuǎn)時，產(chǎn)生一種沿著一條垂直于另外兩個轉(zhuǎn)軸的一條直線的旋轉(zhuǎn)運動。受這種旋轉(zhuǎn)影響的轉(zhuǎn)矩強度是度量該整個系統(tǒng)的旋轉(zhuǎn)運動的一個尺度。在一種不可能進行、或者不希望進行完整旋轉(zhuǎn)運動的系統(tǒng)中，可以用一種擺動旋轉(zhuǎn)運動來替代陀螺儀的自由旋轉(zhuǎn)。在US 5...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。