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導(dǎo)航級微機(jī)械加工的轉(zhuǎn)動傳感系統(tǒng)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:6136432

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本發(fā)明總的涉及用于導(dǎo)航之類的場合的轉(zhuǎn)動傳感器。本發(fā)明尤其是涉及一種在重返大氣層航空器等的高G、高振動環(huán)境中工作時可提供高精度的轉(zhuǎn)動傳感系統(tǒng)。更具體地說,本發(fā)明涉及一種基于硅芯片的轉(zhuǎn)動傳感系統(tǒng),它具有測量圍繞兩根正交傳感軸線的轉(zhuǎn)速的科氏加速度傳感器。以前所知道的微機(jī)械加工的科氏轉(zhuǎn)動傳感系統(tǒng)已表明偏離可重復(fù)性(biasrepeatability)在10°到1000°/小時的范圍內(nèi)。根據(jù)這些原理的分析,盡管它符合本發(fā)明的轉(zhuǎn)動傳感系統(tǒng)目前設(shè)置的低成本和高可靠性的目...
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