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具有改善精度的自動(dòng)操作微波測試系統(tǒng)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:6138633

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本發(fā)明一般涉及用于微波元件的測試系統(tǒng),特別是涉及為提高精度用于上述系統(tǒng)的校正方法。越來越多地采用半導(dǎo)體制造技術(shù)制造微波元件。這些技術(shù)允許低成本大批量地制造上述元件。這些元件也應(yīng)當(dāng)在低成本下測試。但是,不應(yīng)當(dāng)犧牲測試精度。保持低測試成本的一個(gè)重要途徑是通過使用自動(dòng)操作的測試設(shè)備。元件機(jī)械地插入到測試設(shè)備中并且在元件上快速進(jìn)行一系列測試?,F(xiàn)代化自動(dòng)操作測試設(shè)備能夠測試半導(dǎo)體裝置上的微波電路系統(tǒng)。此外,也可以產(chǎn)生和測量數(shù)字信號。因此,微波元件可以以快速連續(xù)地徹底...
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