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測(cè)量埋入界面深度的非破壞性方法和設(shè)備的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6138816

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本發(fā)明涉及到測(cè)量半導(dǎo)體襯底內(nèi)在其表面下埋入界面的深度的非破壞性方法。更詳細(xì)地說(shuō),本發(fā)明的非破壞性方法用傅里葉變換紅外(FTIR)測(cè)量來(lái)測(cè)定半導(dǎo)體襯底內(nèi)在其表面下埋入界面的深度。本發(fā)明非破壞性地測(cè)量確定埋入界面的上表面位置的深度。本發(fā)明也涉及到測(cè)量埋入界面的深度的設(shè)備。目前可買得到的數(shù)據(jù)處理器的高數(shù)據(jù)處理速度必須靠大量高速隨機(jī)存取存儲(chǔ)器支撐。動(dòng)態(tài)隨機(jī)存取存儲(chǔ)器(DRAM)提供大部分所要求的存儲(chǔ)量,由于減小每個(gè)存儲(chǔ)單元的器件數(shù),因此在單片集成電路芯片上能夠形成...
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