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Co傳感器及其制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:6139018

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本發(fā)明涉及使用SnO2金屬氧化物半導(dǎo)體的CO傳感器及其制造方法。已知使SnO2系的CO傳感器在高溫區(qū)和低溫區(qū)交替地進行溫度變化,從低溫區(qū)的輸出中檢測CO的方法。例如,在申請人的SnO2系氣體傳感器TGS203(TGS203為商品名)的情況下,在SnO2燒結(jié)體中埋設(shè)一對熱元件共用電極,并以150秒的周期工作,前60秒在高溫區(qū)(最高溫度約300℃)加熱,而后90秒在低溫區(qū)(最低溫度約80℃)加熱,根據(jù)低溫區(qū)結(jié)束之前的傳感器信號檢測CO。在SnO2中按其每1g中...
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