技術(shù)編號：6139499
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于微壓力與微位移傳感器，特別是涉及一種集成真空微電子觸覺傳感器陣列?，F(xiàn)有技術(shù)中的真空微電子觸覺傳感器，目前只見到單管式真空微電子觸覺傳感器的文獻報道。如中國發(fā)明專利申請公開的臺階陣列陰極真空微電子壓力傳感器，公開號CN1144333A。該發(fā)明主要通過將平面陣列陰極真空微電子壓力傳感器的結(jié)構(gòu)改為臺階陣列陰極真空微電子壓力傳感器。該類技術(shù)方案雖然提高了傳感器的靈敏度和量程，但它僅是一種單管式的真空微壓力傳感器，不能同時準(zhǔn)確測量多點微位移、微壓力和感知被...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。