技術(shù)編號：6148333
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域及流量控制領(lǐng)域，尤其涉及節(jié)流閥測試方法及設(shè)備。 背景技術(shù)半導(dǎo)體制造過程中常使用節(jié)流閥控制氣體流量，以適應(yīng)相關(guān)工藝要求。由于半導(dǎo) 體制造工藝的精確度要求極高，如果工藝中氣流量有偏差，則可能導(dǎo)致制造失敗，因此測試 節(jié)流閥能否在預(yù)定時間內(nèi)準(zhǔn)確控制氣體流量至關(guān)重要。現(xiàn)有節(jié)流閥包括步進(jìn)電機(jī)、機(jī)械驅(qū)動裝置及碟形閥，其中步進(jìn)電機(jī)用于控制機(jī)械 驅(qū)動裝置帶動碟形閥轉(zhuǎn)動，以通過調(diào)節(jié)碟形閥轉(zhuǎn)動的角度來調(diào)節(jié)流過該節(jié)流閥的氣流量。步進(jìn)電機(jī)的轉(zhuǎn)動是由脈沖控制的...
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